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下午两点。整机测试中心的会议室里，四张排程表并排投在屏幕上。
光源组、反射光学组、工件台组、计量控制组，负责人一个不少。
按照原计划，光源组周二有设备窗口，工件台组排在周四，计量组最早也要等到周末。
各组自己的安排都没问题。
凑在一起，就是谁也等不到谁。
“先说好啊。”老梁往椅背上一靠，“安全检查和必要标定，谁也别想给我省。”
“我什么时候说要省了？”
陈知远拿起笔，在屏幕上圈了三个位置。
“这几项是必须按顺序走的，不能动，剩下这些呢？”
他把另几项工作挪到一起。
“光学组做标定的时候，控制组能不能先把接口校验完？工件台不占用整机时，能不能用现有测试环境把数据格式统一？”
一位负责人愣了下。
“理论上可以，不过那不是我们原来的安排。”
“那就改安排。”
陈知远说得很自然。
“不是让你们把一个月的活压到七天里，是原来明明可以一起做的事，被排成了前一个等后一个。”
他在白板上写下一行字。
七天，完成第一轮整机联合曝光验证。
会议室里安静了一瞬。
“七天？”有人抬头，“不是说一个月吗？”
“一个月是完成多轮对准曝光和独立检测的目标。”
陈知远转过身。
“七天先把完整链路跑起来，成不成功，拿晶圆说话。”
负责工艺集成的工程师皱起眉：“设备窗口可以协调，流程上的先决条件怎么办？”
“列出来。”
陈知远把笔递给他。
“哪些是安全上必须满足的，哪些是技术上必须满足的，哪些只是你们原来习惯等别人做完再做？”
工程师张了张嘴，最后接过笔，在白板上写了起来。
半个小时后，原来分散在三张表上的工作，被重新排成了一条完整的流程。
最麻烦的几项仍然摆在那里。
但所有人都看明白了，真正需要等的事情，远比他们以为的少。
老梁看着那条时间线，忍不住笑了一声。
“好家伙，我们之前开那么多次协调会，合着都在研究怎么继续等？”
有人笑了起来。
陈知远把笔帽扣上。
“今天不研究等谁了，各组把能并行的事情先干起来，卡住的直接找我，别在群里发一圈消息，再等第二天开会。”
当天晚上，新的联合工作安排正式下发。
第二天，原本互不相干的几个工作组，第一次按照同一套整机目标推进。
第三天。
控制系统和计量系统的联合校验出了点小麻烦。
两边单独检查都正常，可把记录放到一条时间线上，总有一个状态信号对不上。
“时钟没问题，信号也没丢。”年轻工程师查了半天，“怪了。”
陈知远拿过记录，看了不到几分钟。
“你们这两个‘准备就绪’，判断的不是一回事。”
“什么意思？”
“一个指当前状态满足条件，一个要等下一段动作的确认结果回来，才把就绪标志写进去。”
他点开两组此前的测试资料，把前后的状态变化摆在一起。
“各自都对，接到一起就差了一拍，先把这两个信号的定义统一，再按批准的流程重新校验。”
几个人凑过去一看，表情都变了。
“还真是！”
那位工程师没忍住拍了下脑门。
“我靠，我们一直在查硬件！”
“硬件没坏不是好事吗？”陈知远笑道，“省钱了。”
当天下午，接口校验顺利通过。
第五天，整套平台完成联合检查。
第六天，所有必要的安全和测试条件得到确认。
原本计划排到几个月后的验证，真的被他们推进到了眼前。
这几天，老梁算是彻底服了。
以前他只知道陈知远做研究厉害，现在才发现，这小子最夸张的地方，是能把来自不同专业的东西看成同一个问题。
别人需要来回核对半天的资料，他往往扫上几遍，就能直接找出最值得查的地方。
偏偏他从不胡乱拍板。
遇到自己没接触过的设备细节，他就找负责的人问；看清关系后，再给出判断。
连着忙了好几天，他的精神和身体状态也始终好得出奇。
每天该休息休息，该工作工作，到第二天仍然精力充沛。
倒是老梁自己有点纳闷。
这阵子工作量不小，可他睡觉反而比之前踏实，整个人也没那么烦躁了。
他只当是项目终于有了奔头，心情好。
第七天，上午九点。
整机测试中心。
周启山和另外两位院士都到了。
这次他们没坐在会议室听报告，而是直接站在控制室里，等测试开始。
老梁拿着最后一份核查单走过来。
“所有条件确认完毕，正式流程也复核过了。”
周启山点头，又看向陈知远。
“你确定今天就测？”
“窗口和条件都齐了，为什么不测？”
周启山笑了。
“行，开始吧。”
命令下达。
平台按照既定程序运行。
光源状态正常。
光学系统完成准备。
工件台进入指定位置。
控制室里很安静，只听得见工作人员不断确认状态的声音。
先前陈知远解决的那类动态漂移，这次没有再成为主要障碍。
可就在流程即将进入下一段动作时，控制台忽然弹出一行黄色提示。
“曝光准备条件未满足。”
操作人员立即按规程暂停了后续步骤。
老梁眉头一皱。
“刚才不都绿了吗？”
“别急。”陈知远已经走到屏幕前，“先保留记录，看看是哪个条件没满足。”
两位工程师迅速调出状态日志。
安全保护没有异常，设备也没有损坏。
问题出在整机状态确认上。
“光学系统这里已经报就绪了，工件台为什么没认？”
“它认了上一段的结果，下一段又重新校验了一次。”
陈知远顺着记录往前看，很快找到两套流程之间的衔接处。
“不是它没认。”
他指着屏幕。
“是两边各自等着对方先给下一步确认，设备没问题，流程卡在这里了。”
老梁听完，脸色顿时古怪起来。
“这不就是……互相等？”
“差不多。”
陈知远笑了笑。
“前几天排程表互相等，今天连设备也学会了。”
紧绷的气氛一下松了些。
不过笑归笑，谁也没敢随便跳过确认步骤。
相关负责人重新核查流程，按规定完成修改审批和复测，确认所有保护条件仍然有效后，才允许重新启动。
这一次，提示没有再出现。
一个个状态灯依次亮起。
控制室里所有人的目光，都集中到了最后一项进度上。
完整曝光流程，执行完成。
“完成了？”一个年轻研究员忍不住问。
老梁摆摆手。
“机器说完成不算，得看晶圆。”
测试样片随后被送往计量检测。
等待结果的那段时间，反而比刚才还难熬。
周启山站在控制室里，手中的茶早就凉了，也没喝一口。
终于，计量组的电话打了过来。
“周院士，第一批结果出来了。”
“说。”
“完整曝光链路执行正常，样片上检测到了预定测试图形，图形数据已经上传，可以进一步分析。”
周启山没有立即说话。
下一秒，屏幕上的检测图像传了过来。
一组组细密的测试图形，清清楚楚地出现在众人眼前。
不是一张用来展示光源能够曝光的照片。
而是现有平台按照这一轮统一流程，由多个系统协同完成后，真正交出来的测试结果。
老梁一拳砸在自己掌心。
“成了！”
有人直接站了起来。
“真跑通了！”
“七天啊！这事之前还排在几个月后呢！”
那位负责工艺集成的院士盯着屏幕看了许久，终于长长吐出一口气。
“原来不是非得等到所有系统都做到最好，才能往前走这一步。”
周启山转过头，看向陈知远。
“你这一周，真把大家拧到一起了。”
陈知远没有谦虚，也没有得意。
“主要是各组底子都在，没有他们前面做的那些工作，七天也不可能把链路跑通。”
这话没人反驳。
可所有人也都清楚，底子一直在，过去却始终没能这样协同起来。
差的正是那个能把整盘棋看清楚、还敢把所有人往同一个方向带的人。
周启山看完第一批数据，当场让工作人员把后续设备窗口重新排好。
“别再等原来那张表了，接下来优先保障多轮对准验证，其他计划按程序协调调整。”
“今天这批数据全部归档，独立检测继续做。”
“明白！”
然而，几分钟后。
计量组负责人拿着更详细的分析报告走进控制室。
“周院士，还有个问题。”
老梁刚刚扬起来的嘴角停住了。
“又怎么了？”
“图形是出来了，但不同曝光层之间的位置匹配还不够稳定，按咱们这次定的阶段验收要求，现在还过不了。”
控制室里的兴奋稍稍冷却。
周启山拿起报告，皱起了眉。
这并不奇怪。
完整链路跑通，只代表他们终于能把整套设备放在一起工作。
真正要让多轮曝光的图形准确落到指定位置，还有一道硬坎。
老梁下意识看向陈知远。
“接下来怎么干？”
陈知远接过报告，迅速翻了几页。
他的视线落在几组不同条件下的偏差分布上，忽然笑了。
“这不是挺好吗？”
老梁一愣。
“哪里好了？”
“以前连完整结果都拿不到，想查都找不准地方。”
陈知远把报告摊到桌上。
“现在机器能完整跑起来，问题反而摆得清清楚楚。”
他伸手点了点图纸。
“明天开始，直接冲多轮对准。”
“这次我不只要它能印出来。”
“我要每一层，都印在该在的位置上。”
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