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两周后。整机测试中心。
最后一轮连续运行的数据出来时，老梁盯着屏幕看了足足半分钟，才把手里的笔往桌上一放。
“过了。”
旁边几个研究员顿时松了口气。
这半个月，他们换了好几种工作节拍，又做了长时间负荷变化测试。
陈知远提出的动态补偿方案，没能把所有误差一扫而空，却在事先划定的工况内始终保持着明显优于旧方案的表现。
没有再出现先前那种补偿越补越乱的情况。
老梁把报告往陈知远面前一推。
“你看看，你那套东西，这回算是真正站住了。”
陈知远翻了两页，“嗯，跟预计差不多。”
老梁差点气笑，“你倒是挺淡定。”
“我又不是第一次看这组数据。”陈知远笑道，“而且这才解决了一类动态漂移。”
“得得得，知道你眼光高。”
老梁嘴上抱怨，脸上的笑意却怎么都压不住。
几个月没找到突破口的问题，如今终于有了一套能反复验证的处理办法。
他比谁都清楚，这份报告有多值钱。
不过陈知远说得也没错。
解决一种漂移，不等于整台光刻机就能稳定干活。
当前原型平台可以完成基础曝光，可要让一片测试晶圆连续完成多轮对准曝光，各个系统必须在同一套工作条件下配合。
真正难的，是把它们合在一起。
而这，也正是今天这场联合推进会要讨论的事。
上午十点。
陈知远推开会议室大门时，里面已经坐了三十多人。
除了周启山，还有另外两位院士。
一位负责光源与相关工程系统，另一位长期负责整机工艺集成。
各家研究所、设备单位的技术负责人也来了。
跟上次不同，今天谁都没有再把陈知远当成一个来旁听的年轻学生。
有人主动冲他点头，有人跟他打招呼。
老梁甚至直接替他拉开了前排的椅子。
“坐这儿，待会儿肯定要问你。”
陈知远也没客气。
会议开始，周启山先把两周来的验证结果作了简短通报。
新方案已经完成阶段性测试，正式转入后续工程优化。
几位负责人听得很认真。
但真正讨论到下一阶段，气氛很快就变了。
投影屏幕上出现了一张整机联合测试计划表。
光源组还有稳定性测试没完成。
反射光学组准备更换一套测量标定流程。
工件台和控制组正在调整接口。
工艺验证那边，则一直在等一个足够完整的连续测试窗口。
每个组都有自己的计划。
每个计划单独看，也都说得过去。
问题是，把它们排到一起，下一次完整的多轮对准曝光验证，竟然被排到了几个月以后。
“再快也得先把基础打牢。”一位负责人说道，“现在就强行联调，测试窗口可能都耗在排故上，最后各组自己的任务也耽误了。”
负责工艺验证的院士点了点头。
“风险确实有，样片做出来不难，难的是结果要能重复，还得经得起独立检测。”
光源方向的负责人接过话头。
“我们也不是不想配合，可我这边还有自己的节点，一旦整机联调占了设备，原来的安排就得往后挪。”
没人吵架。
他们都是干了几十年科研的人，当然知道轻重。
正因为每个人都在认真对待自己的任务，才更难轻易拍板。
周启山听完，正准备让人把几个窗口重新核算一遍。
“周院士。”
陈知远忽然开口。
几道目光同时落在他身上。
“我能不能说两句？”
“你说。”
陈知远看着投影上的进度表，忽然问了一个问题。
“我们现在缺的，到底是各个子系统再多一份漂亮的测试报告，还是一片真正通过整机验证的晶圆？”
会议室安静了一下。
一位负责人皱眉：“你的意思是？”
“每个组都在尽量把自己那部分做到最好，这没有错。”
陈知远拿起桌上的笔，指了指几处被分散安排的测试节点。
“可整机的问题，光靠各组分别把数据做漂亮，是找不全的。”
“就像前面那类动态漂移，光学组的记录没错，控制组的记录也没错，真正的问题，偏偏出在它们一起运行的时候。”
老梁听得连连点头。
这事他亲身经历过，太有发言权了。
陈知远继续道：“既然迟早要把它们放在一起，为什么不先拿现有平台，集中攻一次完整验证？”
负责工艺集成的院士抬起头。
“你说的完整验证，具体到什么程度？”
“在现有原型平台和安全边界内，完成一批多轮对准曝光测试晶圆。”
陈知远说得很清楚。
“要有重复样片，要有独立检测，不是拍一张成功的图，也不是做出一次偶然好看的结果。”
“这当然是我们想要的。”对方看着他，“问题是，你准备什么时候做？”
“一个月。”
三个字落下。
会议室里一下子安静了。
老梁原本正端着水杯，听到这里，动作都顿了一下。
一个月？
现在排出来的计划，可是几个月以后！
“知远。”周启山缓缓开口，“这话可不能随便说。”
“我知道。”
陈知远神色平静。
“所以我说的是现有原型平台的阶段性整机验证，不是造出能量产的EUV光刻机，更不是一个月把所有问题解决。”
他起身走到屏幕前。
“设备已经在这儿，各组的数据也有了，我们现在最大的浪费，不是某个零件不够好，而是每组都在等别的组准备到自己满意。”
“整机需要的，不是所有部件在自己的测试环境里拿满分。”
“而是它们在同一套条件下，能不能把同一件事做成。”
这句话说完，几个原本低头记笔记的负责人，都抬起了头。
陈知远没停。
“我建议先把目标收窄，不追求所有工况，不碰超出当前能力范围的指标，只锁定一套能够实现的测试条件。”
“第一周，统一接口、测量口径和测试流程，先把完整链路跑通。”
“第二周，集中解决联调中真正影响结果的几个关键问题。”
“后面两周，做重复曝光和独立检测。”
“中间哪一步过不了，就在那一步停下，不往后硬冲。”
他指了指进度表。
“也就是说，不是把所有人原来的工作都推翻，而是先挤出一条能真正往前走的路。”
这下，连一直态度谨慎的工艺集成负责人也认真起来。
“你这个方案，最大的问题不是技术，而是协调。”
他指着其中一行安排。
“几家单位要同时调整设备窗口。中途失败，损失的不是一个人的时间。”
“所以要有人对整个验证负责。”陈知远回答。
周启山看了他一眼。
“你愿意担这个责任？”
“我提出的方案，当然由我负责技术统筹。”
陈知远笑了笑。
“但有个前提，各组得按统一计划来，不能上午决定改流程，下午又各回各家，继续按原来的表跑。”
老梁忍不住笑出了声。
这话说得太直白了，可偏偏一针见血。
会议室里没人觉得被冒犯。
他们当然知道，这才是真正的症结所在。
光源方向的院士沉吟片刻，问道：“两周内如果完整测试链路还是跑不通呢？”
“就停。”
陈知远回答得很干脆。
“把已经查明的问题留下，各组恢复原计划，三十天是验证目标，不是逼大家拿不真实的结果交差。”
负责工艺集成的院士缓缓点头。
“有退出条件，也不干扰整机的安全边界，这样至少值得认真试一次。”
周启山没有立即拍板。
他让几位负责人现场重新确认设备窗口、人员安排和关键接口。
十几分钟后，屏幕上的几条时间线终于被调整到了一起。
不是所有问题都解决了。
但至少，他们找到了一个可以真正执行的窗口。
周启山看向另外两位院士。
“你们的意见呢？”
“我同意先组织这一轮专项验证。”
“我也同意，不过检测必须独立，结果是什么就是什么。”
“当然。”
周启山点头，转向会议记录人员。
“写进去。”
“启动为期三十天的整机集成验证攻关，锁定现有原型平台，目标是完成多轮对准曝光测试晶圆，并通过约定的重复性和独立检测。”
“各单位抽调技术骨干，统一安排测试窗口。”
说到这里，他停了一下。
“技术统筹，陈知远。”
会议记录人员抬头确认了一遍。
“陈知远？”
“对。”
周启山看了眼坐回位置上的年轻人，笑了。
“十九岁怎么了？谁提出方案，谁最清楚该怎么干，就让谁来。”
“当然，项目管理和设备安全由原来的负责人把关，别把人家的好苗子累坏了。”
会议室里顿时响起一阵笑声。
但笑过之后，所有人都意识到，这份刚刚确定的安排意味着什么。
一个十九岁的大学生，不再只是某项技术的贡献者。
接下来三十天，他将作为核心技术统筹，组织来自多家单位的专业团队，直接冲击国产EUV原型平台的一项关键整机验证目标。
会议结束时，老梁走到他身边。
“你这小子，今天算是给自己揽了个大活。”
陈知远看着屏幕上重新排好的计划，笑道：“总得有人先往前走一步。”
“你就不怕做不成？”
“做不成就查清楚为什么做不成。”
陈知远合上笔记本。
“可要是明明有机会，却先按部就班等上几个月，那才可惜。”
老梁看了他两秒，忽然咧嘴一笑。
“行，那我这把老骨头，就陪你再拼一次。”
两人刚走出会议室，负责协调的工作人员已经送来一份新的设备排程。
陈知远低头扫了一眼。
光源组的测试窗口在周二凌晨。
工件台组安排在周四上午。
计量组要到周末才能抽出完整时段。
三张表，还是各走各的。
工作人员有些为难：“这已经是各单位能挤出来的时间了。”
陈知远却没有皱眉。
他拿起笔，把三处时间圈在一起。
“麻烦通知三个组的负责人，下午两点到整机测试中心。”
“是要重新开会吗？”
“不开长会。”
陈知远把那份排程表递回去。
“就干一件事。”
“从今天开始，别再按三台机器排时间了。”
他看了眼控制中心的方向。
“我们要造的，是同一台光刻机。”
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