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“先等一下。”就在老梁准备打开下一组数据时，周启山忽然开口。
“把最终曝光结果先藏起来。”
老梁的手停在鼠标上。
周启山看向陈知远：
“既然你说这部分误差有规律，那咱们换个办法，只给你光学状态和控制记录，不给你最后测出来的偏移，你先预测，再拿实际结果对。”
话音落下，工作室里几个人都来了精神。
之前那组数据，陈知远毕竟看过最终结果。
就算找出了关联，也不能排除是顺着答案往回推。
现在不同，没有答案可看，能不能预测出来，全凭本事。
“可以。”陈知远答应得很干脆，“不过我需要完整的历史热负荷记录，还有各路补偿指令的生效时间。”
老梁点头：“这些都有。”
他让负责数据管理的研究员单独导出一份文件，保留原始采集记录，把最终偏移测量列和相关图表全部隔离。
“这一批跟刚才不一样。”
老梁提醒道：“运行负荷更高，中间还调过一次工作节拍，我们之前就是在这里反复出问题。”
“正好。”
陈知远拉开椅子，重新坐下。
屏幕上，密密麻麻的记录一行行展开。
工作室安静下来，只剩键盘敲击的声音。
陈知远没有直接把前一组的曲线往后挪，也没有简单给几项数据加权。
他先把不同通道的采样节奏理顺，再根据已有记录，估算光学系统在热负荷变化后的响应过程。
一旁的年轻研究员起初还能跟上。
可看着看着，他就发现不太对劲了。
陈知远调整的并不是一个固定的时间延迟，而是在区分不同运行阶段下，光学状态变化对下一步补偿的影响。
更关键的是，他没有把工作台当成一个独立执行指令的部件。
它前一次修正产生的结果，也被放进了后一次预测之中。
“你这个处理方式……”年轻研究员忍不住开口。
陈知远手上没停：“把两套系统拆开看，它们都有自己的道理。”
“可机器运行的时候，它们又不是各干各的，得看它们怎么互相影响。”
十几分钟后，陈知远把鼠标一松。
“先这样。”
屏幕上多出一条预测曲线，他指了指三个位置。
“这几处应该会出现比较明显的偏移，第一处向正方向，第二处回落，第三处还有一个滞后的峰值。”
“具体幅度我不敢说完全准确，但变化趋势应该跑不掉。”
老梁没说话。
因为陈知远指的三个位置，恰好就是这批测试里最让他们头疼的地方。
他知道答案，但陈知远不知道。
周启山看向数据管理员，“把结果打开。”
两条曲线出现在同一张图上。
下一秒，老梁直接往前凑了半步。
第一处拐点，对上了。
第二处回落，对上了。
第三处原本被他们归为偶发扰动的峰值，也在预测曲线上出现了。
幅度并非完全重合，有些细小波动也没有被解释。
可那几段最明显的异常，方向、先后顺序和出现区间，几乎都落在陈知远提前标出来的位置。
“不是……”
年轻研究员盯着屏幕，嘴巴微微张开。
“还真能提前算出来？”
老梁没接话。
他先看文件导出时间，又查了一遍测量结果的访问记录，确定陈知远确实没有接触到那一列数据。
随后，他才缓缓吐出一口气。
“这就有意思了。”
周启山却没有急着高兴，“再来两组，最好换个工况。”
“明白。”
第二次验证用了另一批历史记录。
这一次，预测结果仍然抓住了主要偏移趋势。
第三批的数据则没有那么漂亮。
有一段突然出现的波动，模型没能解释。
老梁指着那里：“看到了吧？这就是我说的麻烦，你这个办法能解释一部分，但不是全部。”
“本来也没打算解释全部。”
陈知远将那段记录单独标了出来。
“这一处的变化跟前两批不一样，先留着，现在至少可以确定，那些被归进随机扰动里的误差，并不全是随机的。”
他抬头看向老梁。
“如果能把可预测的部分先拿掉，剩下那些真正难解释的东西，不就更容易找了吗？”
老梁怔了一下，随即，他猛地拍了拍自己的额头。
“对啊！”
“我们之前把所有偏移混在一起分析，越看越乱，要是先把这部分剥离出来……”
他话说到一半，自己先笑了。
“好家伙，折腾了三个月，原来有些问题压根就不该放在一起查！”
这三个月，他们并不是毫无收获。
各个子系统该测的都测了，该排的也排了，积累下来的原始记录甚至相当完整。
可也正因为每条线都查得很细，反而没人能拿出足够清楚的证据，说明究竟该先动哪里。
现在，陈知远用几组已有数据，硬生生把那团乱麻扯出了一根线头。
周启山盯着屏幕，眼神已经完全不同。
“知远。”
“嗯？”
“既然能预测，那能不能补偿？”
这才是所有人最关心的问题。
能解释过去的错误，当然重要。
但他们造的是光刻机，不是专门用来分析错误的机器。
陈知远想了想。
“能做，不过不能直接在现有控制指令上再叠一层修正。”
老梁点头：“否则两边都有补偿，搞不好还会互相打架。”
“对。”
陈知远重新打开模型。
“我的想法是，不等偏移出现再追着修，而是先根据系统当前状态，预测接下来可能发生的变化。”
“让新的补偿策略和原有控制一起计算，别让它们各算各的。”
他边说边调整界面，把需要改动的环节一一指出来。
控制组的两位研究员很快凑了过来。
一个负责实时算法，一个熟悉工件台控制，两人没客气，接连问了几个问题。
“预测要是错了呢？”
“先限定启用范围，超过条件就退回原策略。”
“控制周期不能随便拉长。”
“所以复杂计算放到离线建模，在线只保留能及时完成的部分。”
“那第三组没解释出来的波动怎么办？”
“别动它，第一版先解决已经验证的这一类问题，别想着一口气全吃下。”
几句话下来，原本还想提醒他现实限制的两人，也渐渐不再把他当成刚进组的年轻人。
因为他不是只会提出一个漂亮概念。
系统能做什么，哪里不能碰，出了问题该怎么退回去，他都考虑到了。
周启山一直听到这里，才终于笑了。
“顾明远跟我说，你这小子很擅长找关键问题。”
“现在看来，他还是说保守了。”
顾明远站在旁边，脸上的笑意怎么也压不住。
这场面，他倒不是第一次见。
不过能在这种项目里看见，感觉还是不一样。
周启山不再耽搁，直接转向老梁。
“先前暂缓的那轮重复标定，不急着恢复，光学组、计量组、控制组，把今天的数据验证整理成正式记录。”
“再组织一轮离线仿真，看看这套思路能把哪些误差压下来。”
老梁点头：“没问题。”
周启山又看向陈知远。
“这个方向是你提出的，后面的验证，你来牵头。”
工作室里短暂安静了一下。
这里可是国家重大科研专项。
一句“牵头”，意味着后续的技术方案、验证目标和关键判断，都需要由他统筹推进。
而陈知远，今年才十九岁。
陈知远倒没什么受宠若惊的感觉。
“可以，不过具体实现得各组一起做，我只负责关键方案和方向把关。”
周启山听得更满意了。
“当然，让你一个人把整台设备的活儿都干了，那我们这些人坐这里干什么？”
众人顿时笑了起来。
老梁也跟着笑，笑完却认真伸出手。
“陈知远，接下来就一起干吧。”
“梁老师，合作愉快。”
两人握了握手。
没有什么隆重仪式。
但就在这间工作室里，一项原本没有明确突破方向的任务，已经有了新的负责人和验证路线。
当天傍晚，第一版离线仿真结果出来了。
针对已经识别出的那部分偏移，采用新策略后的模拟结果明显比原方案更稳定。
当然，这还只是仿真。
距离真正装到设备上，中间还有安全检查、控制接口适配，以及受控条件下的测试。
可这份结果，已经足够让周启山作出决定。
他拿起电话，拨给整机测试负责人。
“明天的测试窗口，给我们留一段。”
“对，新的动态补偿方案。”
“先做受控验证，原有控制策略保留，任何指标越界就立即退出。”
挂断电话后，周启山看向陈知远。
“数据能对上，仿真也有改善，接下来，就该让机器说话了。”
陈知远望向屏幕上那条逐渐平稳的曲线，笑了笑。
“那就明天见真章。”
窗外，天色已经暗了下来。
而这台国产EUV光刻机，距离下一次真正的整机验证，只剩下一个晚上。
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